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進(jìn)入清洗凈化間時(shí),在風(fēng)淋室內(nèi)風(fēng)淋的時(shí)間為15秒。
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RBS清洗液的配比為RBS清洗液:純水=1:80,清洗液每8小時(shí)更換一次。
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晶片厚度與晶片的頻率密切相關(guān),晶片厚度越厚,頻率越低。
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