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在靶片前方設一抑制柵,作用是將()抑制回去,從而保證測量的準確性。
A.二次電子
B.二次中子
C.二次質子
D.無序離子
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單項選擇題
一般用()測量注入的劑量。
A.劑量分布儀
B.劑量統計儀
C.電荷分析儀
D.電荷積分儀
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單項選擇題
在實際工作中,常常需要知道離子注入層內損傷量按()的分布情況。
A.長度
B.深度
C.寬度
D.表面平整度
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